CAS No.： 75-73-0

商品编号	FT-14
商品名称	四氟化碳
分 子 式	CF4
分 子 量	527
含　　量	99.9%, 99.99%, 99.999%
外　　观	无色无臭气体
用　　途	是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、微光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

 

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