|
电子级三氯氧磷 |
英文名称 |
Phosphorus oxychloride |
别名 |
磷酰氯、三氯氧磷 |
CAS NO. |
10025-87-3 |
分 子 式 |
POCL3 |
分 子 量 |
153.33 |
主要成分 |
三氯氧磷 |
物化性质 |
无色有刺激性臭味的发烟液体,相对密度1.675,熔点2℃,沸点105.3℃。溶于氯气或五氯化磷时呈红黄色,露于潮湿空气中即水解生成磷酸和氯化氢,发生白烟。遇水和醇发生分解并放出大量热和盐酸气,对眼睛有刺激。有腐蚀性。 |
毒性防护 |
三氯氧磷挥发出来的气体有毒、有刺激性和腐蚀性,能刺激粘膜、使眼疼痛、干咳,出现严重的呼吸困难,以后发生支气管炎,心脏机能不全,严重的贫血,肝肿大,尿中出现蛋白,肺界扩大。溅入眼结膜囊内1滴,即会出现坏死和视力完全丧失。最高允许浓度为0.05mg/m3。 操作人员应穿戴劳保防护用品,生产三氯氧磷的设备要密闭,工作期间应戴过滤式防毒面具,仔细保护皮肤和眼睛。 |
用途 |
高纯三氯氧磷是生产高纯石英光纤的主要原料之一,也是芯片制造业的主要掺杂剂,主要用于集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺,是集成电路生产过程中所必需的化学品,广泛应用于光伏、IC产业。 |
包装储运 |
干燥石英源瓶包装,其规格有500ml/瓶、600ml/瓶、1000ml/瓶、1500ml/瓶,外套木框架,瓶与框架之间填充珍珠海绵。包装上应有明显的“有毒品”和“腐蚀性物品”标志。 属一级无机酸性腐蚀物品,危规编号:GB 8.1 类 81040。应贮存在阴凉、通风、干燥的库房中,容器必须密封,远离热源和火种。不可与易燃品、潮解性物品共贮混运。运输时要防雨淋和日晒,如在棚车内装运要有防雨雪措施,并应按交通部、铁道部危险货物运输规则第九类“腐蚀性物品”规定装运。装卸时要轻拿轻放,防止撞击和包装破损。 失火时,可用干黄砂、干粉灭火器或二氧化碳灭火器扑救,但不可用水。 |
质量标准 |
本产品符合SEMI-C7要求,产品规格及指标如下:
序号
|
检验项目 |
技术指标
(以PPB计) |
序号 |
检验项目 |
技术指标
(以PPB计) |
6N |
6N |
7N |
6N |
7N |
1 |
镓(Ga),max |
1 |
0.1 |
15 |
锶(Sr),max |
3 |
0.9 |
2 |
钴(Co),max |
16 |
0.8 |
16 |
汞(Hg),max |
5 |
0.1 |
3 |
锰(Mn),max |
20 |
1.2 |
17 |
铁(Fe),max |
20 |
6.2 |
4 |
钛(Ti),max |
3 |
0.9 |
18 |
钾(K),max |
20 |
3.3 |
5 |
铝(Al),max |
30 |
5.8 |
19 |
镁(Mg),max |
10 |
4.5 |
6 |
砷(As),max |
25 |
2.4 |
20 |
镍(Ni),max |
10 |
1.0 |
7 |
钙(Ca),max |
20 |
8.9 |
21 |
银(Ag),max |
1 |
0.6 |
8 |
金(Au),max |
1 |
0.2 |
22 |
铋(Bi),max |
8 |
0.1 |
9 |
铜(Cu),max |
14 |
3.5 |
23 |
锌(Zn),max |
2 |
3 |
10 |
钡(Ba),max |
15 |
1.4 |
24 |
锡(Sn),max |
3 |
1.5 |
11 |
铅(Pb),max |
5 |
2.1 |
25 |
铌(Nb),max |
1 |
0.1 |
12 |
铬(Cr),max |
10 |
0.7 |
|
色度 |
5 |
5 |
13 |
锂(Li),max |
6 |
1.4 |
颗粒 |
≥0.3μm
50max |
≥0.3μm
50max |
|
<< 返回列表 在线交易>> |
|
|