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本厂六氟化硫产品质量指标与国标比较
检验项目
指标值
检验结果
备注
纯度(SF
6
)
≥99.8
≥99.99
空气 % (m/m)
≤0.05
≤ 0.002
四氟化碳(SF
4
) %(m/m)
≤0.05
≤ 0.003
水份(H
2
O) ppm (m/m)
≤8
≤1.5
可水解氟化物(以 HF计)ppm(m/m)
≤1.0
≤0.2
酸度(以 HF计) ppm(m/m)
≤0.3
≤0.05
矿物油 ppm(m/m)
≤10
≤2.2
毒 性
无
无
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