一、概况
近年来能源紧缺、环境污染愈加严重,促使绿色能源蓬勃发展,尤以光伏产业最为突出。然而目前产业界缺乏成熟的切削废砂浆回收再利用技术,废弃物排放不仅是对社会资源的极大浪费,同时导致硅片生产成本的增加,而且对环境造成一定的污染。我公司投入大量科研人员和科研经费,经过多年的自主研发对废砂浆回收项目进行科研开发,完成了将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆及悬浮液(聚乙二醇)通过物理的方式进行处理,将其中碳化硅微粉和悬浮液进行回收的方法。同时,使回收的碳化硅微粉和悬浮液达到与全新碳化硅微粉和切削液相同的性能指标,并满足硅晶片生产的使用要求,达到完全替代全新碳化硅微粉和切削液新料。公司目前投资800余万元,已建成年处理浆料5000余吨的切削液废砂浆再生生产装置。
二、产品指标
1、硅晶片再生切削液质量指标
项目 |
指标 |
试验方法 |
外观 |
无色至微黄色 |
目测 |
密度(20℃)g/cm3 |
1.120~1.130 |
GB/T4472-84 |
粘度(40℃)mPa·S |
24~28 |
GB/T10247-2008 |
水分 , % |
≤1.0 |
GB/T606-2003 |
电导率,μs/cm |
≤20 |
GB/T11007-1989 |
pH,(5%H2O) |
4.0~7.0 |
GB/T9724-2007 |
2、绿碳化硅微粉质量指标
指标名称 |
1200目指标值 |
1500目指标值 |
D3最大值 μm |
≤20.0 |
≤18.31 |
粒度中值D50 μm |
9.5±0.8 |
8.0±0.6 |
最小粒径D94 μm |
≥5.5 |
≥4.5 |
SiC % |
≥99.20 |
≥99.00 |
Fe2O3 % |
≤0.1 |
≤0.1 |
F•C % |
≤0.1 |
≤0.1 |
pH值(30%水) |
6-8 |
6-8 |
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