六甲基二硅氮烷（HMDS）

英文名称: 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane

CAS NO: 999-97-3

分子量: 161.39

EC NO: 213-668-5

分子式: C6H19NSi2

InChI: InChI=1/C6H19NSi2/c1-8(2,3)7-9(4,5)6/h7H,1-6H3

别名: 六甲基二硅亚胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷;六甲基二硅胺烷;HMDS

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